真空感應(yīng)熔煉是全部高溫合金（包括變形、鑄造、粉末高溫合金）熔煉的第一步工序，其工藝優(yōu)點(diǎn)是在防止金屬氧化的前提下，可把易氧化的強(qiáng)化相構(gòu)成元素Al、Ti參加到合金中，前進(jìn)合金功能。因?yàn)檎婵崭袘?yīng)熔煉過程中高溫合金熔體與耐火材料坩堝壁在約1550℃的高溫下持續(xù)發(fā)生化學(xué)反響，生成Al(2)O(3)、ZrO(2)、CrO(3)以及稀土氧化物等陶瓷攙和物，同時(shí)澆鑄電極過程中也會(huì)帶入耐火材料澆道體系的無機(jī)攙和物。國內(nèi)外對真空感應(yīng)熔煉過程中前進(jìn)高溫合金純潔度的技術(shù)展開了較多的研究工作，提出了包括泡沫陶瓷過濾、氧化鈣（CaO）坩堝精粹、電磁攪拌、旋轉(zhuǎn)鑄錠、復(fù)合熔鹽凈化、電磁軟觸摸成形凈化等工藝方法。其中，泡沫陶瓷過濾凈化法是國內(nèi)外常用也是非常經(jīng)濟(jì)的方法，其除掉合金熔體中陶瓷攙和物的原理包括：尺寸較大的攙和物從合金熔體中過濾、阻擋到過濾網(wǎng)；尺寸較小的攙和物被吸附到陶瓷濾網(wǎng)內(nèi)表面或已被過濾網(wǎng)俘獲的攙和物上。目前，國內(nèi)外用于熔煉高溫合金的陶瓷過濾網(wǎng)質(zhì)料包括Al(2)O(3)、ZrO(2)、莫來石（3Al(2)O(3)·2SiO(2)）、堇青石（2MgO·2Al(2)O(3)·5SiO(2)）等。
真空感應(yīng)熔煉工藝對高溫合金成分的精準(zhǔn)控制國內(nèi)外現(xiàn)已構(gòu)成一致。通過真空下的感應(yīng)熔煉過程（包括氬氣保護(hù)下的精粹、電磁攪拌等），可以把變形高溫合金的主元素、微量元素嚴(yán)峻控制在要求的標(biāo)準(zhǔn)范圍內(nèi)，甚至有害微量元素（Pb、Sn、Bi等）與氣體元素能下降到幾個(gè)ppm級（即10(-6)）的水平，通過陶瓷過濾、參加增加劑（C、CaO基熔渣等）以及工藝優(yōu)化，可以把合金中的氧化攙和物和O、N、H顯著下降一級。
真空感應(yīng)熔煉時(shí)下降有害氣體（H、O、N）的含量是一個(gè)重要工藝環(huán)節(jié)。氫（H）元素在真空下的高溫合金熔體中溶解度很低，加上H與合金元素的親和力小，熔煉過程中分散到氣-液相界面的速度很快，這也是真空感應(yīng)熔煉的變形合金中H含量都很低，可以滿足要求的原因；O元素在高溫合金以固溶態(tài)或氧化物雜質(zhì)方法存在，氧化物攙和下降合金的疲乏及蠕變功能，削減合金中O含量的首要方法包括碳（C）脫氧、去除氧化物脫氧兩種方法，而且以前者為主，C在真空下脫氧的才能很強(qiáng)，根據(jù)的反響動(dòng)力學(xué)原理是：[C]+[O]=CO（g）↑，因?yàn)檎婵障翪O氣體的不斷揮發(fā)抽除，反響平衡不斷右移，使合金中O含量持續(xù)下降，此外通過增加Al、Ca金屬也可以下降合金中的O含量。合理的熔煉工藝參數(shù)與C、Al、Ca等元素的歸納作用，可以去除合金熔體中的絕大部分O，能抵達(dá)＜10ppm；高溫合金中N以固溶體、氮化物（TiN、Ti（CN）、AlN等）兩種方法存在，而要下降合金中N元素的含量，一方面需采用低N的原材料特別是金屬Cr，另一方面則需求優(yōu)化精粹工藝、采用過濾等方法，研究表明，合金精粹溫度越高，時(shí)刻愈長，脫N作用越好，此外對合金熔體進(jìn)行電磁攪拌，也可以促進(jìn)脫N反響進(jìn)行。
真空感應(yīng)熔煉工藝的另一個(gè)重要功能就是對高溫合金回來料的純潔回收再利用。車屑在高溫合金回來猜中占了一大部分，因此，研究車屑的純潔熔煉有顯著的含義。國外采用真空感應(yīng)熔煉運(yùn)用Y(2)O(3)坩堝，通過實(shí)驗(yàn)研究了GH4169車屑合金回來料重熔后的O、N含量，發(fā)現(xiàn)跟著真空度前進(jìn)，合金中N、O含量下降（N從72ppm下降到7ppm；O含量從28ppm下降到8ppm）；升高熔煉溫度，合金熔體中N含量無顯著變化而O無顯著變化，而O含量與脫氧劑C的增加量有必定聯(lián)絡(luò)。
真空感應(yīng)熔煉工藝雖然在高溫合金成分精準(zhǔn)控制、回來料回收等方面優(yōu)勢杰出，可是制備的鑄錠內(nèi)部存在偏析內(nèi)部縮孔與疏松、陶瓷攙和物等，真空感應(yīng)熔煉制備的母合金或電極棒需求進(jìn)行重熔，以進(jìn)一步前進(jìn)材料的冶金質(zhì)量和力學(xué)功能。