真空中的淬火有氣淬和液淬兩種。氣淬即將工件在真空加熱后向冷卻室中充以高純度中性氣體(如氮)進(jìn)行冷卻。實(shí)用于氣淬的有高速鋼和高碳高鉻鋼等馬氏體臨界冷卻速度較低的資料。液淬是將工件在加熱室中加熱后，移至冷卻室中充入高純氮?dú)獠ⅠR上送入淬火油槽，快速冷卻。假如需求高的表面質(zhì)量，工件真空淬火和固溶熱處理后的回火和積淀軟化仍應(yīng)在真空爐中進(jìn)行。
真空氣淬爐的非必須結(jié)構(gòu)部件,影響設(shè)備安全性的爐殼、爐門及齒圈的結(jié)構(gòu)組成。因?yàn)?span style="font-weight: bold;">真空氣淬爐在正壓和負(fù)壓重復(fù)交替使用的非凡性,為了保障設(shè)備使用的安全性一起完成設(shè)備的經(jīng)濟(jì)性,對(duì)爐殼和齒圈經(jīng)過(guò)核算法、查圖法進(jìn)行實(shí)踐核算,并采用無(wú)限元分析法對(duì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行安全性分析。經(jīng)過(guò)力學(xué)模型對(duì)設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)中的單薄環(huán)節(jié)進(jìn)行結(jié)構(gòu)優(yōu)化,達(dá)到結(jié)構(gòu)安全性的要求。
