它適用于真空度在1333～2Pa規(guī)模的真空熱處理爐，如預抽低真空井式爐。大多以油封式旋轉機械泵為主泵的體系。
中真空體系
它適用于真空度在1.333～3×10Pa規(guī)模的真空熱處理爐。中真空體系在真空熱處理爐中使用廣泛，其一般有兩級真空泵機組組成。初級泵多選用旋轉機械泵或滑閥式機械泵，主泵為機械增壓泵（羅茨泵）或油增壓泵。
高真空體系
它適用于真空度在1.333×1O～6。6×10Pa規(guī)模的真空熱處理爐，如真空退火爐、真空釬焊爐。其一般有三級真空泵機組組成，主泵一般選用油分散泵、離子泵，初級泵大都也是選用旋轉機械泵或滑閥式機械泵，前級泵為機械增壓泵（羅茨泵）或油增壓泵。
真空體系的基本參數(shù)
真空熱處理爐的真空體系主要參數(shù)有、作業(yè)真空度、抽氣時間、抽氣速率、漏氣率（壓升率）。
真空度真空爐在空爐、冷態(tài)下所能達到的高真空度稱為真空度。真空度是查核真空爐各零部件的加工和安裝質量、真空機組的抽氣才能與真空、爐體的密封與漏氣和真空衛(wèi)生情況的重要指標。一般，真空爐的真空度應低于主泵一個數(shù)量級左右。
真空爐的修理
真空氣氛爐加熱功率的復校跟著爐子使用時間的延長，隔熱屏的熱阻變小，電熱元件揮發(fā)而電阻變大等因素的影響，應適當添加功率。在生產(chǎn)實際作業(yè)中，一般用經(jīng)驗計 算法確認功率，圖4—15所示為石墨氈或耐火纖維氈隔熱屏真空爐的容積與加熱功率的聯(lián)系曲線圖。按該圖能夠確認1300。C的真空爐加熱功率。若為金屬隔 熱屏的真空爐，則查得的加熱功率需添加30％左右。
隔熱屏的修理隔熱屏在真空爐中起隔熱、保溫效果，有時也作為固定加熱器的結構根底。隔熱屏結構一般有四種類型：全金屬隔熱屏、夾層式隔熱屏、石墨氈隔熱屏和混合氈隔熱屏。不同的隔熱屏，在修理時應掌握其要點。
全金屬隔熱屏一般在靠近電熱元件的1—2層選用鉬、鎢資料，外面幾層可用不銹鋼資料，厚度應盡量薄些（中、小型爐一般為o．2。0．5mm。大型爐為 o．5～1．Omm）；隔熱屏在安裝前需將外表加工成為光潔狀況，以下降黑度，增強反射效果。1300。C爐子的隔熱屏層數(shù)一般為5～6層，層間間隔為 5～10mm。幾層輻射板連接的接觸面積不宜太大，以減少熱短路。隔熱屏應有脹縮量，并做成可拆式的，便于下次修理。