真空燒結(jié)爐石墨件主要用于半導(dǎo)體元件和功率整流器件的燒結(jié)過程。它可用于真空燒結(jié)、氣體保護(hù)燒結(jié)和常規(guī)燒結(jié)。它是特種半導(dǎo)體設(shè)備系列中的一種新型工藝設(shè)備。設(shè)計(jì)理念新穎,操作方便,結(jié)構(gòu)緊湊,可在一臺(tái)設(shè)備上完成多種工藝流程。也可用于其他領(lǐng)域的真空熱處理、真空釬焊等工藝。那么我們來看看真空燒結(jié)爐遇到以下三種情況時(shí)可以采取的應(yīng)急措施。
一、供熱電源停電
1、水壓,當(dāng)水壓低于0.15MPa時(shí),壓力表報(bào)警。
2.接地故障。
3.對(duì)于真空放電,水冷電極與加熱器的連接處必須連接牢固,最好與反射器絕緣。
4.如果爐內(nèi)壓力在13.3-66.5Pa(這個(gè)真空度容易放電)。停電和斷電的原因可以認(rèn)為是介質(zhì)擊穿引起的放電。
二,停止充氣。
1.開始抽真空前,請(qǐng)確認(rèn)充氣時(shí)間長或無法充氣時(shí),氣體管道是否堵塞。
2.如果氣路沒有問題,檢查電磁閥和充氣閥的動(dòng)作。為了安全起見,在檢查之前,應(yīng)停止所有與之相關(guān)的設(shè)備。
3.當(dāng)充入真空室的空氣無法停止時(shí),當(dāng)泄壓閥動(dòng)作時(shí),所有氣體系統(tǒng)包括供氣閥和管道都應(yīng)關(guān)閉。
4.確認(rèn)充氣管是否漏氣,漏氣會(huì)影響產(chǎn)品質(zhì)量。
三 ,停電
1.停電時(shí),如果斷水,應(yīng)立即接通備用冷卻水,并接通水源。
2.如果在非加熱、加熱和冷卻期間能盡快恢復(fù),重新啟動(dòng)設(shè)備。如果需要長時(shí)間繼續(xù)運(yùn)行,請(qǐng)保持設(shè)備原樣。
3.如果在加熱和冷卻過程中可以盡快恢復(fù),重新啟動(dòng)設(shè)備。如果需要很長時(shí)間,就保持原樣,讓設(shè)備自然冷卻。