真空燒結(jié)爐首要用于半導(dǎo)體元器材及電力整流器材的燒結(jié)工藝，可進(jìn)行真空燒結(jié)，氣體維護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)。是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備，它規(guī)劃構(gòu)思新穎，操作方便，結(jié)構(gòu)緊湊，在一臺設(shè)備上可完結(jié)多個(gè)工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理，真空釬焊等工藝。
高真空燒結(jié)爐是在抽真空后充氫氣維護(hù)狀態(tài)下，使用中頻感應(yīng)加熱的原理，使處于線圈內(nèi)的鎢坩堝發(fā)生高溫，經(jīng)過熱輻射傳導(dǎo)到工作上，適用于科研、軍工單位對難熔合金如鎢、鉬及其合金的粉末成型燒結(jié)。安裝電爐的場所應(yīng)符合真空衛(wèi)生的要求，周圍的空氣應(yīng)清潔和干燥，并有杰出的通風(fēng)條件，工作場地不易揚(yáng)起灰塵等。
1、查看操控柜中所有部件及配件是否齊備、完好。
2、操控柜安裝在相應(yīng)的地基上，并固定。
3、安照接線圖，并參閱電氣原理圖，接通外接主回路及操控回路，并可靠接地，保證接線無誤。
4、查看電器可動部分應(yīng)活動自若，無卡死現(xiàn)象。
5、絕緣電阻應(yīng)不低于2兆歐姆。
6、真空電爐各閥門必須在關(guān)閉方位。
7、操控電源開關(guān)放在關(guān)位。
8、手動調(diào)壓旋鈕逆時(shí)針旋動頭。
9、報(bào)警鈕放在開位。
10、按平面圖完結(jié)設(shè)備的循環(huán)冷卻水聯(lián)接，主張用戶在設(shè)備總進(jìn)出水管處再接入一備用水（可用自來水），防止循環(huán)水有毛病或斷電導(dǎo)致密封圈燒壞。